产品型号：非标定制

产品品牌：上海升利

SL-CVD是一款PECVD 管式炉系统。该系统包含等离子射频电源，80mm OD1500mm L的管式炉，通道质量流量供气系统和机械泵机组，可用于生长纳米或石墨烯材料。