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高真空RTP 炉[产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 高真空RTP 炉
产品型号:
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

高真空RTP炉是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管),配有高真空系统(机械泵 +分子泵) ,带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片(*大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热,*快升温速度为 50°C/second. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C。计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线


高真空RTP 炉  的详细介绍

技术参数

 

 

 

 

 

 

 

炉子

加热元件

8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm)

工作温度

· *高1100°C

· 炉子可以加热到1100°C, 可以打开上盖进行快速冷却

*快升温速度

室温~800℃50 oC/sec 800℃~1000℃ 10oC/sec

*快降温速度

64°C/min (在真空: 200 mtorr), 117°C/min (在一个大气压下)

加热区

4" X12"恒温区( +/-5°C

温控仪

· PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能

· 热偶: K type

· 自整定功能

· 控温精度: +/- 0.5°C

· RS485 串口和温控软件

石英管和样品架

· 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

· 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料

· 一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。

· AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性。

真空法兰

· KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封,.

· 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

· 可选本公司进口的防腐型数字式真空显示计测量其真空度,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换

流量计

装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min

电源

208-240 AC, 50/60 Hz 单相,

*大功率12KW. (> 60A 保险)

结构

· 移动架尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm

· *大承重:       600 Lbs

· 分子泵控制面板 :   LCD 显示

· 前级泵  分子泵 安装在移动架里面.

高真空系统

真空度

6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes)

控制面板

· 一键操作 - 按一下“start"键,前级泵和分子泵便开始工作.

· 系统控制转速 - 根据真空度和腔体的漏气情况自动调整转速.

· 自保护功能 - 如果真空腔体漏气率太高不能达到高真空,系统会自动保护,避免因过热或过流而造成损坏。

· LCD 显示屏 - 双线性参数检查界面,使操作更简单.

启动时间

2 minutes

前级泵在10mbar下的流速

3.8 L/min   50Hz 4.4 L/min  60Hz

电源

110V AC 220V AC 任意切换, 50/60Hz

功率

*大: 110Watt

使用注意事项:

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加**安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

保修期

一年保修,终身技术支持

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