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1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X- S50- 2F[产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X- S50- 2F
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产品展商: 其它品牌
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简单介绍

1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X- S50- 2F


1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X- S50- 2F  的详细介绍

OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。**的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温**度为+/- 1


技术参数

高温炉

壳体

  • 采用双层壳体
  • 炉膛采用多晶氧化铝纤维,*大程度减小能量损失
  • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

(点击图片查看详情)

功率

1.75KW

电压

AC -220V

温度

  • *高工作温度:1200℃(< 1hr
  • 连续工作温度1100
  • 升温速率 <= 10C/min

炉管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加热区

  • 加热区长度: 8" (200mm)
  • 恒温区长度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

温控系统

  • PID30段程序化控温
  • 控温精度: +/- 1
  • 控温仪表操作视频

加热元件

掺钼铁鉻铝(表面涂有氧化锆涂层,使其*大程度延长使用寿命)

两路混气系统

  • 两个浮子流量计量程为16 100mL/min
  • -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
  • 三个机械压力表:-0.1-0.15 MP
  • 混气箱上安装有一不锈钢针阀
  • 后端装有φ6.35卡套接头,无需通电
  • 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
  • 净重: 14 lbs.

 


真空法兰和配件

结构

左法兰 右法兰
标准真空配件:

  • 一个防腐型真空计
  • 一个φ6.35的卡套接头
  • 两个KF25转接头
  • 一个600mm的不锈钢波纹管
防腐型真空计

本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)


真空泵

  • 我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售


产品净重

100 lbs

产品尺寸

  • 炉体:340 x 300 x 400mm
  • 真空泵:440 x 160 x 300mm
  • 混气系统: 340 x 300 x 180mm

运输重量

200lbs

开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计

质保期

一年质保期(不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件)

  • CE认证
  • 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证
  • 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证


使用注意事项:
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加**安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

苏公网安备 32058302001659号