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900℃小型RTP炉[产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 900℃小型RTP炉
产品型号:
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

900℃小型RTP炉配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(*大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热*快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线


900℃小型RTP炉  的详细介绍

技术参数

名称

900℃小型RTP

主要参数

*高温度900℃

电压220V, 50Hz   

*大功率:12KW

加热元件:8根红外灯管

炉体结构

.带风冷的双层铸钢外壳使得炉体表面温度低于60℃(参考值)

·炉膛采用高纯的氧化铝纤维,*大程度上减少了热量的损失

·不慎在加热过程打开炉盖,配备的连锁保护开关会自动切断电源

.此设备标配一个机械压力表

炉管

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性±5℃

温控系统

.智能化30段可编程控制

.包含一款808P型温度控制器

.都是采用PID方式调节

.控温**度:±1℃

真空法兰

. KF-25D型不锈钢高真空法兰上配有两个高温硅胶O形圈并安装有针阀和水冷套。

 

·在冷却水开启的情况下设备可长期在≦600℃温度下工作。

 

·循环水流量:0.5 m3/h

 

·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作,取放样品简单便捷,同时也可满足其他特殊工艺的要求。

 

·可插入式的铠装热电偶,使测得样品温度更加**

注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa

 

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加**安全

 

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 

·石英管的长时间使用温度<1100℃

 

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

·这款炉子也可以被改造成RTE,CSS或HPCVD炉使用,同时石墨坩埚被碳化硅涂层

可选配系统

.USB接口,无纸记录仪,随机打印系统

.坩埚

.进口1900型材料

保修期

一年保修,终身技术支持

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