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8.5英寸等离子清洗机- PCE-80[产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 8.5英寸等离子清洗机- PCE-80
产品型号:
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

8.5英寸等离子清洗机- PCE-80


8.5英寸等离子清洗机- PCE-80  的详细介绍

       PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

 

      免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

 技术参数

名称

等离子清洗机- PCE-80

 

 

 

 

主要参数

 

·*大射频功率: 100 W

 

·真空泵功率: < 500W

 

·总功率: < 600W

 

·电源:AC 220V , 50Hz

 

 

 

 

射频电源

 

· 射频功率可在 0 - 100W之间调节

 

·频率: 13.56 MH

 

·可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀等离子灰化等实验

 

 

 

 

 

等离子腔体

 

·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

 

·铝制折叠式法兰来进行真空密封

 

·法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

 

·此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

 

 

 

 

 

控制面板

 

·通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等

 

·仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可**地控制进气流量

 

 

 

 

 

 

真空泵(选配)

 

·仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

 

·极限真空度为50mTorr参考值,具体请点击

 

 

 

 

通入气体

 

·离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

 

·不使用易燃气体及腐蚀性气体。

 

 

 

 

 

 

可选

 

·可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

 

·可选购2-4通道质子或浮子混气系统   

 

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H mm

认证

CE认证

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。

 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书

 

 

 

 

 

相关应用

 

·请自行根据您的应用测试*佳的等离子功率

 

·对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间

 

·对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间

 

·可根据要求提供300W高功率射频电源

 

 

 

免责声明

 

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